晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 攜手供應商,首創業界「沸石濃縮雙轉輪系統」技術,使揮發性有機氣體削減率達 99.5%,將成為未來新建廠區標準設備,截至今年已完成建置於晶圓十五 B 廠、晶圓十八 A 廠,預計明年第一季完成晶圓十八 B 廠建置。
台積電以「零排放」為目標,致力發展空氣汙染防制技術,除符合國內「半導體製造業空氣汙染管制及排放標準」及「固定汙染源空氣汙染物排放標準」,連續維持 0 件異常事件通報主管機關紀錄,也透過自主開發最佳可行技術及防制監測設備二大方針,主動降低環境衝擊。截至今年為止,揮發性有機氣體平均削減率連續第 6 年超過 95%。